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题名:
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晶圆制造自动化物料运输系统调度 / 张洁，秦威，吴立辉 , |
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ISBN:
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978-7-5680-0902-7 价格： CNY88.00 |
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载体形态:
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263页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 武汉 出版社： 华中科技大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书在系统、深入地分析AMHS建模方法和运行特性分析方法的基础上, 分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法, 介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： |