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题名:
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基于MEMS技术的热梯度器件研究 / 聂金泉 , |
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ISBN:
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978-7-5170-7299-7 价格： CNY59.00 |
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载体形态:
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192页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统, 设计了一种新型的梯度加热器, 由六个微加热芯片组成, 每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸 (宽度和厚度) 对温度梯度和功耗的影响, 为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。采用MEMS微加工技术加工和制作微流控系统的微加热芯片和玻璃-PDMS微通道芯片, 开发了工艺流程, 分析了关键工艺步骤, 通过微加热芯片的引线键合, 完成了微流控系统的构建。 |
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主题词:
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微机电系统 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： |