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题名:
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MEMS/MOEMS封装技术——概念、设计、材料及工艺 / （美）肯·吉列奥（Ken Gilleo）著 , |
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ISBN:
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978 7 122 01518 1 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2008.01 |
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内容提要:
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本书的主要内容为MEMS和MOEMS电子封装工程基础，MEMS和MOEMS器件的原理、材料与制造，MEMS/MOEMS封装面临的挑战和策略，MEMS/MOEMS封装材料和工艺，以及纳米技术。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>一般性问题>制造工艺 |
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中图分类法:
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TN405.94 版次： |