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题名:
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RF MEMS器件设计、加工和应用 / 朱健编著 , |
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ISBN:
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978 7 118 08501 3 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2012.12 |
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内容提要:
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本书系统地介绍了RF MEMS技术所涵盖的各种器件，以RF MEMS理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RF MEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和 RF MEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>电子元件、组件 |
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中图分类法:
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TN6 版次： |