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题名:
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MEMS集成设计技术及应用 / 苑伟政，谢建兵，焦文龙著 , |
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ISBN:
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978 7 118 09583 8 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2014.11 |
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内容提要:
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全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍MEMS在线测试技术，第六章介绍几种典型的微米纳米器件测试技术。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC） |
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中图分类法:
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TN4 版次： |