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题名:
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硅微型惯性器件理论及应用 / 王寿荣 , |
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ISBN:
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7 81050 693 5 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 东南大学出版社 出版日期： 2000.1 |
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内容提要:
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本书内容包括微型惯性器件的物理基础，硅微型惯性器件的原理结构及误差分析，硅微型惯性器件的制备工艺，硅微型惯性器件的组合及应用等。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>材料>元素半导体 |
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中图分类法:
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TN304.1 版次： |