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题名:
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集成电路（IC）制程简论 / 田民波编著 , |
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ISBN:
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978 7 302 20959 1 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 清华大学出版社 出版日期： 2009.12 |
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内容提要:
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本书以图文并茂的形式，简要介绍了集成电路制程。以特征线宽130nm以下为重点，涉及到集成电路制造工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低K介质材料、Soc与Sip等。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC） |
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中图分类法:
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TN4 版次： |