题名:	集成电路制造技术——原理与工艺 / 王蔚，田丽，任明远编著 ,
ISBN:	978 7 121 20680 1 价格：
出版发行:	出版地：出版社：电子工业出版社出版日期： 2013.07
内容提要:	本书共分5个单元，第一单元，主要介绍单晶硅衬底结构特点，体硅和外延硅片的制造方法；第二单元~第五单元，主要介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备，以及依托的技术基础和发展趋势。每单元后都有习题。另外，还在附录中以双极性晶体管制作为例介绍微电子生产实习等内容。
主题词:	工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>一般性问题>制造工艺
中图分类法:	TN405 版次：