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题名:
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纳米尺度几何量和机械量测量技术 / 赵学增，王伟杰著 , |
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ISBN:
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978 7 5603 3864 4 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2012.06 |
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内容提要:
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本书共分4章。包括纳米尺度线宽(CD)测量，纳米尺度边缘粗糙度(LER)测量，纳米尺度线高测量，纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量，微纳尺度固液界面边界条件测量，结论。本书可供相关专业的研究人员参考。 |
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主题词:
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工业技术>一般工业技术>计量学 |
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中图分类法:
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TB9 版次： |