题名:	三维集成技术 / 王喆垚编著 ,
ISBN:	978 7 302 35499 4 价格：
出版发行:	出版地：出版社：清华大学出版社出版日期： 2014.11
内容提要:	本书全面系统介绍三维集成技术的发展历史、制造实现技术、设计技术以及电学和力学可靠性等相关问题，以从事相关研究开发工作的需求出发，以三维集成实现技术作为线索，深入介绍三维互连制造技术、三维集成方法、三维集成策略、三维集成的电磁学问题、三维集成的热力学及可靠性，以及三维集成的检测与三维集成应用等内容，既包括实现三维集成的主流技术方法，也包括三维集成领域的最新进展。
主题词:	工业技术>自动化技术、计算机技术>计算技术、计算机技术>计算机软件>程序设计、软件工程>软件工程
中图分类法:	TP311.5 版次：