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题名:
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微电子机械系统 / 姜岩峰 , |
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ISBN:
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7502581588 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2000.4.1 |
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内容提要:
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本书介绍了微电子机械系统（MEMS）相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC） |
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中图分类法:
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TN4 版次： |