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题名:
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氧化锌半导体材料掺杂技术与应用 / 叶志镇 , |
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ISBN:
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9787308066242 价格: |
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出版发行:
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出版地: 出版社: 浙江大学出版社 出版日期: 2009.01.01 |
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内容提要:
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ZnO是一种新型的Ⅱ.Ⅵ族半导体材料,具有许多优异的性能。但由于ZnO存在诸多的本征施主缺陷(如空位氧Vo和间隙锌Zni),对受主产生高度自补偿作用,天然为n型半导体,难以实现p型转变。ZnO薄膜p型掺杂的实现是ZnO基光电器件的关键技术,也一直是ZnO研究中的主要课题,目前已取得重大进展,本书对此进行了详细阐述。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>材料>化合物半导体 |
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中图分类法:
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TN304.2 版次: |