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题名:
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氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例 / 赵祥敏，赵文海著 , |
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ISBN:
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978 7 5024 6917 7 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2015.06 |
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内容提要:
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本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段，ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征，不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响，退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。 |
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主题词:
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工业技术>一般工业技术>工业通用技术与设备>薄膜技术 |
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中图分类法:
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TB43 版次： |