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题名:
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真空装置 / 谈治信，徐玉江编著 , |
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ISBN:
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978 7 122 25065 0 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2016.01 |
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内容提要:
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本书分为7章，分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空装置阀门、真空装置测量与自动化、真空装置常用制造工艺的理论与实践；特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技术问题，由于属于材料原子级加工的一种新工艺，一旦被人们所掌握，就意味着人类在微观世界实现控制加工的一个突破，它将有力地推动微电子技术、光子技术、表面科学、应用声学、材料科学、真空科学技术等向前发展。 |
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主题词:
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工业技术>一般工业技术>真空技术>真空获得技术及设备 |
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中图分类法:
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TB75 版次： |