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题名:
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SOI光波导器件 / 陈媛媛著 , |
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ISBN:
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978 7 121 11760 2 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2010.08 |
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内容提要:
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绝缘衬底上的薄膜硅材料(Silicon.on.insulator, SOI)是一种新型的Si材料，近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。SOI光波导器件的研究成为目前硅光子学研究的一个热点问题。本书系统的介绍SOI材料的导波光学器件，特别是无源器件，光开关及其开关阵列的理论原理，以及器件制作方面的最新研究成果。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>光电子技术、激光技术>波导光学与集成光学>光波导 |
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中图分类法:
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TN252 版次： |