|
题名:
|
TIO2纳米层壳结构薄膜氧传感器 / 张辉军著 , |
|
ISBN:
|
978 7 81129 623 5 价格： |
|
出版发行:
|
出版地： 出版社： 黑龙江大学出版社 出版日期： 2013 |
|
内容提要:
|
采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。 |
|
主题词:
|
工业技术>自动化技术、计算机技术>自动化技术及设备 |
|
中图分类法:
|
TP2 版次： |