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题名:
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非硅MEMS技术及其应用 / 陈文元，张卫平，陈迪著 , |
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ISBN:
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978 7 313 12525 5 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来，二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术，它集微传感器、微执行器、控制电路于一体，涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉，可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC） |
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中图分类法:
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TN4 版次： |