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题名:
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硅集成电路工艺基础 / 关旭东 , |
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ISBN:
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9787301065075 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2003.1.1 |
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内容提要:
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本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>半导体集成电路（固体电路）>场效应型 |
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中图分类法:
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TN432 版次： |