|
题名:
|
基于COMSOL MULTIPHYSICS的MEMS建模及应用 / 张玉宝 , |
|
ISBN:
|
978 7 5024 4276 7 价格： |
|
出版发行:
|
出版地： 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2001.08.01 |
|
内容提要:
|
本书介绍了应用COMSOL Multiphysics有限软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以MEMS典型建模实例内容及其参考文献，图文并茂。概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysics软件中MEMS建立模型的基本过程。以六个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法。介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。 |
|
主题词:
|
工业技术>电工技术>电机>微电机 |
|
中图分类法:
|
TM38.39 版次： |