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题名:
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集成电路制造工艺 / 孙萍主编 , |
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ISBN:
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978 7 121 22899 5 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2014.09 |
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内容提要:
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本书围绕微电子产业链的发展状况，以集成电路制造工艺流程为主线，介绍了集成电路从衬底制备，芯片制造到封装测试的工艺原理及工艺操作流程，同时以较先进的CMOS工艺和集成电路工艺设计作为对各核心工艺的总结与提升，为从事集成电路设计、制造、封测的技术和操作人员提供了良好的工艺理论和实践操作的基础。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>一般性问题>制造工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |