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题名:
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纳米半导体器件与技术 / (加)Krzysztof Iniewski编 , |
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ISBN:
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978 7 118 09078 9 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2013.12 |
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内容提要:
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本书介绍了半导体工艺从标准CMOS硅工艺到新型器件结构的演变，包括碳纳米管、石墨烯、量子点等，涉及纳米电子器件的研究现状，提供了关于材料和器件结构的资源，包括从微电子到纳电子的革命。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>结构、器件 |
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中图分类法:
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TN303 版次： |