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题名:
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气相沉积薄膜强韧化技术 / 杜军，朱晓莹，底月兰编著 , |
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ISBN:
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978 7 118 11522 2 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2018.05 |
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内容提要:
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本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧性能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。 |
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主题词:
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工业技术>一般工业技术>工业通用技术与设备>薄膜技术 |
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中图分类法:
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TB43 版次： |