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题名:
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微电子机械加工系统（MEMS）技术基础 / 孙以材，庞冬青编著 , |
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ISBN:
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978 7 5024 4794 6 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 冶金工业出版社 出版日期： 2009.03 |
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内容提要:
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本书介绍微电子机械加工(MEMS)技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>一般性问题>制造工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： |