题名:	微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 / (美)Joel A. Kubby著 ,
ISBN:	978 7 118 09690 3 价格：
出版发行:	出版地：出版社：国防工业出版社出版日期： 2014.11
内容提要:	在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。
主题词:	工业技术>电工技术>电机>微电机
中图分类法:	TM380.2.62 版次：