题名:	微机电系统及工程应用 / 莫锦秋，梁庆华，王石刚编著 ,
ISBN:	978 7 122 23883 2 价格：
出版发行:	出版地：出版社：化学工业出版社出版日期： 2015.08
内容提要:	本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。
主题词:	工业技术>电工技术>电机>微电机
中图分类法:	TM38 版次：