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题名:
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现代电子制造装联工序链缺陷与故障经典案例库 / 樊融融编著 , |
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ISBN:
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978 7 121 37664 1 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2020.06 |
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内容提要:
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在现代微电子装备制造中，产品在生产和使用的全过程中的缺陷和故障，将人们解决问题的技术视野引入了一个完全陌生的境界。本书从现代微电子装备生产、使用中所发生的大大小小的数百个缺陷和故障中，筛选出201个较典型的案例，按照现象描述与分析、形成原因与机理、解决措施等层次，将其编辑成册，旨在为现代微电子装备生产、使用中所发生的缺陷和故障的诊断提供一个较为敏捷的解决方法。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>半导体器件制造工艺及设备>装架 |
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中图分类法:
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TN305.93 版次： |