题名:	真空微电子学及其应用 / 王保平 ,
ISBN:	7 81050 915 2 价格：
出版发行:	出版地：出版社：东南大学出版社出版日期： 2002.04
内容提要:	本书介绍了真空微电子学的物理基础，讨论了微细结构制造技术，阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。
主题词:	工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）
中图分类法:	TN4 ; TN1 版次：