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题名:
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直拉单晶硅工艺技术 / 黄有志，王丽主编 , |
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ISBN:
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978 7 122 29885 0 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2017.07 |
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内容提要:
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本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。本书可作为各类职业院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新能源专业教材，也可作为单晶硅生产企业的员工培训教材，还可作为相关专业工程技术人员的参考书。 |
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主题词:
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工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>材料 |
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中图分类法:
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TN304.053 版次： |