题名:	半导体锗材料与器件 / (比)C. 克莱，(比)E. 西蒙著 ,
ISBN:	978 7 5024 5175 2 价格：
出版发行:	出版地：出版社：冶金工业出版社出版日期： 2010.04
内容提要:	本书全面系统介绍了有关锗晶体生长、长入缺陷和工艺导致缺陷、不同材料、工艺相关问题直至最现代的ULSI器件等所有方面。第一章至第七章更多考虑引导性叙述，包括基础材料、缺陷和器件等内容。第八章到第十二章则偏重应用和工艺技术。最后在第十三章进行总结并展现了锗作为微电子材料的前景。
主题词:	工业技术>无线电电子学、电信技术>半导体技术>一般性问题>材料>元素半导体
中图分类法:	TN304.1 版次：